ໃນການຜະລິດເອເລັກໂຕຣນິກແລະ semiconductor, ຄວາມສົມບູນຂອງຂະບວນການແມ່ນຂຶ້ນກັບການກວດສອບຄວາມກົດດັນທີ່ຊ້ໍາກັນ. ອັນຫ້ອງທົດສອບສິ່ງແວດລ້ອມບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນ enclosure; ມັນແມ່ນຕົວຊີ້ຂາດຂັ້ນສຸດທ້າຍກ່ອນທີ່ອົງປະກອບໜຶ່ງມີຄຸນສົມບັດສຳລັບການນຳໃຊ້ພາລະກິດທີ່ສຳຄັນ. ຫ້ອງທົດລອງທີ່ໄດ້ຮັບການຮັບຮອງ ແລະຜູ້ຜະລິດທົ່ວໂລກຮັບຮູ້ວ່າການຂີ່ລົດຖີບດ້ວຍຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ແລະ ການທົດສອບສະພາບອາກາດທີ່ຄົງທີ່ຈະຕ້ອງໃຫ້ຄວາມຊື່ສັດທີ່ບໍ່ປ່ຽນແປງ. ແມ້ແຕ່ການບິດເບືອນເສດສ່ວນ—ເບິ່ງບໍ່ເຫັນດ້ວຍຕາເປົ່າ—ສາມາດປິດບັງຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ແຝງ ຫຼື ຍົກລະດັບຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຜະລິດຕະພັນຢ່າງບໍ່ຖືກຕ້ອງ. ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ສິ່ງທ້າທາຍໃນປະຈຸບັນ, ຍຸດທະສາດການວັດແທກແລະປັດຊະຍາວິສະວະກໍາທີ່ຫັນປ່ຽນລະບົບສະພາບອາກາດມາດຕະຖານໄປສູ່ຄູ່ຮ່ວມງານທີ່ມີຄຸນນະພາບທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້.
ການຫຸ້ມຫໍ່ semiconductor, ສະພານວົງຈອນພິມ, ແລະອຸປະກອນ MEMS ຕອບສະຫນອງ hyper-sensitively ກັບ gradients ອຸນຫະພູມ. ເມື່ອຫ້ອງທົດລອງສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງທາງກວ້າງຂອງພື້ນທີ່, ເຂດທີ່ແຕກຕ່າງກັນພາຍໃນປະລິມານການເຮັດວຽກປະສົບກັບລະດັບຄວາມກົດດັນທີ່ບໍ່ຄ້າຍຄືກັນ. ດັ່ງນັ້ນ, batch ອາດຈະໃຫ້ອັດຕາຄວາມລົ້ມເຫຼວທີ່ກົງກັນຂ້າມ. ສຳລັບ ICs ລະດັບລົດຍົນ ຫຼື ເອເລັກໂຕຣນິກໃນອາວະກາດ, ຄວາມບໍ່ແນ່ນອນດັ່ງກ່າວແມ່ນບໍ່ສາມາດຍອມຮັບໄດ້. ດັ່ງນັ້ນ, ອຸດສາຫະກໍາຕ້ອງການຫ້ອງທີ່ຮັກສາຄວາມເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວຊັ້ນວາງ, ໂດຍບໍ່ຄໍານຶງເຖິງຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງການໂຫຼດຫຼືການເຫນັງຕີງຂອງສະພາບແວດລ້ອມ.
ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະການຈັດຊື້ສ່ວນໃຫຍ່ອ້າງອີງ MIL-STD-810, JESD22, ຫຼື IEC 60068-2. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ການປະຕິບັດຕາມຢ່າງດຽວບໍ່ໄດ້ຮັບປະກັນການແຜ່ພັນລະຫວ່າງຫ້ອງທົດລອງ. ອັນຫ້ອງທົດສອບສິ່ງແວດລ້ອມການປັບທຽບກັບມາດຕະຖານກະສານອ້າງອີງຂອງສະຖາບັນວັດແທກແຫ່ງຊາດສະຫນອງການລະບົບຕ່ອງໂສ້ຂອງເອກະສານຂອງຄວາມບໍ່ແນ່ນອນ. ຄວາມສາມາດໃນການຕິດຕາມນີ້ເຮັດໃຫ້ວິສະວະກອນສາມາດຈໍາແນກຄວາມລົ້ມເຫລວທີ່ເກີດຈາກຂະບວນການຈາກການວັດແທກ. ຖ້າບໍ່ມີມັນ, ຜົນໄດ້ຮັບຈາກຫ້ອງຫນຶ່ງອາດຈະກາຍເປັນຜົນທີ່ລົ້ມເຫລວເມື່ອຖືກໂອນໄປຫາສະຖານທີ່ອື່ນ - ການຊັກຊ້າການເປີດຕົວຜະລິດຕະພັນແລະທໍາລາຍຄວາມຫມັ້ນໃຈຂອງລູກຄ້າ.
ຮອບວຽນການສອບທຽບປະຈຳປີທຳມະດາແມ່ນຈຸດເລີ່ມຕົ້ນ, ບໍ່ແມ່ນການຮັບປະກັນຢ່າງແທ້ຈິງ. ສໍາລັບຫ້ອງທີ່ເຮັດວຽກຫຼາຍຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນປະຈໍາວັນ - ປົກກະຕິໃນຫ້ອງທົດລອງຄຸນສົມບັດ semiconductor - drift ສາມາດສະແດງອອກພາຍໃນເດືອນ. ດັ່ງນັ້ນຜູ້ຜະລິດຊັ້ນນໍາຈຶ່ງຮັບຮອງເອົາຕາຕະລາງການຄິດໄລ່ຄືນໃຫມ່ໂດຍອີງໃສ່ຄວາມສ່ຽງ, ຊົ່ວໂມງການນໍາໃຊ້ຫ້ອງ, ອັດຕາການລ້າ, ແລະບັນທຶກການລອຍນ້ໍາປະຫວັດສາດ. ວິທີການແບບເຄື່ອນໄຫວນີ້ຫຼຸດຜ່ອນຜົນບວກທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງການທົດສອບ.
ອິດທິພົນຂອງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຕໍ່ການເຄື່ອນຍ້າຍ ionic, ຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບ corrosion, ແລະ delamination ຂອງໂພລີເມີແມ່ນເລິກເຊິ່ງ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ວິສະວະກອນຈໍານວນຫຼາຍສຸມໃສ່ພຽງແຕ່ອຸນຫະພູມຂອງຫລອດໄຟແຫ້ງ, ການລະເລີຍຫລອດປຽກຫຼືຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຈຸດນ້ໍາຕົກ. ປະສິດທິພາບສູງຫ້ອງທົດສອບສິ່ງແວດລ້ອມຕ້ອງ synchronize ທັງສອງຕົວກໍານົດການໂດຍບໍ່ມີການແຊກແຊງຂ້າມ. ຢູ່ທີ່ຈຸດນໍ້າຕົກຕໍ່າ - ຕໍ່າກວ່າຄວາມເຢັນ - ເຖິງແມ່ນວ່າການຕິດຕາມການເກີດອາກາດຫນາວກໍ່ມີການປ່ຽນແປງ psychrometrics ຫ້ອງ. ຫ້ອງຊັ້ນສູງໃຊ້ປ່ອງຢ້ຽມສະແດງຕົວຢ່າງທີ່ມີຄວາມຮ້ອນ, ທໍ່ PID ເຄື່ອງຜະລິດ vapor-generator ແລະສູດການຊົດເຊີຍຄວາມຊຸ່ມຊື່ນໃນເວລາຈິງເພື່ອຮັກສາຄວາມຊື່ສັດຂອງຈຸດຕັ້ງ.
ຕາຕະລາງຂ້າງລຸ່ມນີ້ສະຫຼຸບຄຸນລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນທີ່ຈໍາແນກພື້ນຖານຈາກຫ້ອງຄວາມຮ້ອນລະດັບຄວາມແມ່ນຍໍາ. ໃຫ້ສັງເກດວ່າຂອບເຂດຕົວເລກຢ່າງແທ້ຈິງແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, ແຕ່ຄວາມສໍາຄັນຂອງທິດທາງແມ່ນທົ່ວໄປ.
| ຄຸນລັກສະນະ | ສະພາຈຸດປະສົງທົ່ວໄປ | Precision Semiconductor Chamber |
|---|---|---|
| ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸນຫະພູມ (ປະລິມານເຕັມ) | ເລື່ອນລະດັບປານກາງໃນທົ່ວຊັ້ນວາງ | ຄວາມເປັນເອກະພາບທີ່ໂດດເດັ່ນດ້ວຍການດຸ່ນດ່ຽງທາງອາກາດຢ່າງຫ້າວຫັນ |
| ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຢູ່ໃນຈຸດນ້ໍາຕົກຕ່ໍາ | ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບການລອຍຕົວຂົ້ນ | ການລ້າງອາກາດແຫ້ງແບບຄົງທີ່ + ການໂຕ້ຕອບຂອງເຊັນເຊີຄູ່ |
| ການຟື້ນຕົວຫຼັງຈາກການເປີດປະຕູ | ຂະຫຍາຍ overshoot / undershoot | PID ກັບຄືນຢ່າງໄວວາດ້ວຍເຫດຜົນການປັບຕົວ |
| ບັນທຶກຂໍ້ມູນໄລຍະຍາວ | ການບັນທຶກໄລຍະຫ່າງພື້ນຖານ | ຄວາມປອດໄພ, ການເກັບຮັກສາທີ່ສອດຄ່ອງກັບການກວດສອບ |
ເພື່ອຮັບປະກັນວ່າຫ້ອງທົດສອບສິ່ງແວດລ້ອມຍັງຄົງເປັນຄວາມຈິງກັບການປັບໂຮງງານຜະລິດຂອງຕົນຫຼັງຈາກເດືອນຂອງການນໍາໃຊ້ຢ່າງຮຸນແຮງ, ຜູ້ຜະລິດຕ້ອງປະສົມປະສານຄຸນນະສົມບັດການວິນິດໄສຕົນເອງ. ເຊັນເຊີອ້າງອີງພາຍໃນອັດຕະໂນມັດ, ກວດຂ້າມກັບວົງຈອນການວັດແທກເອກະລາດ, ກວດພົບການລອຍຕົວໄວ. ເມື່ອລວມເຂົ້າກັບລະບົບການຢັ້ງຢືນທາງໜ້າປົກກະຕິ, ລະບົບເຫຼົ່ານີ້ແຈ້ງເຕືອນຜູ້ປະຕິບັດການກ່ອນທີ່ຜົນການທົດສອບຄັ້ງດຽວຈະຖືກທຳລາຍ. ນອກຈາກນັ້ນ, ເຊັນເຊີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຂອງສະພາບແຂງທີ່ມີເຕັກໂນໂລຊີ probe ຄວາມຮ້ອນຈະກໍາຈັດ hysteresis ຂອງເຊັນເຊີ capacitive ແບບດັ້ງເດີມ, ຮັບປະກັນການເຮັດຊ້ໍາຄືນຈາກການປ່ຽນແປງຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຕ່ໍາຫາສູງ.
ການອອກແບບການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດຈາກເທິງຫາລຸ່ມແບບດັ້ງເດີມມັກຈະສ້າງລະດັບອຸນຫະພູມຢູ່ໃກ້ກັບມຸມຫ້ອງ. ການແກ້ໄຂຂັ້ນສູງໃຊ້ພັດລົມ tangential ທີ່ມີ baffles ທີ່ສາມາດປັບໄດ້, ສ້າງຜ້າມ່ານອາກາດແນວນອນທີ່ sweeps uniformly ໃນທົ່ວແຕ່ລະ shelf. ສະຖາປັດຕະຍະກໍານີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຜົນກະທົບຂອງຄວາມຮ້ອນດ້ວຍຕົນເອງຈາກອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ບັນຈຸຢ່າງຫນາແຫນ້ນ, ປະໂຫຍດທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການທົດສອບການເຜົາໄຫມ້ຫຼືພະລັງງານສູງ. ສໍາລັບການວິເຄາະຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງ semiconductor fabs, ການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດທີ່ເປັນເອກະພາບຮັບປະກັນວ່າອຸປະກອນທີ່ຢູ່ພາຍໃຕ້ການທົດສອບ, ບໍ່ແມ່ນການເຄື່ອນໄຫວຂອງນ້ໍາຂອງຫ້ອງ, ກໍານົດຜົນໄດ້ຮັບຜ່ານ / ລົ້ມເຫລວ.
ໃນຂະນະທີ່ຂໍ້ກໍາຫນົດແລະແຜ່ນພັບໃຫ້ຄໍາແນະນໍາເບື້ອງຕົ້ນ, ຄວາມແຕກຕ່າງທີ່ແທ້ຈິງແມ່ນຢູ່ໃນການສະຫນັບສະຫນູນຫລັງການຕິດຕັ້ງແລະປັດຊະຍາວິສະວະກໍາ. ຜູ້ຜະລິດທີ່ປະຕິບັດການປັບທຽບເປັນເຫດການ checkbox ແບບຄັ້ງດຽວໃນທີ່ສຸດຈະສົ່ງຂໍ້ມູນ drifting. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຜູ້ຜະລິດທີ່ອຸທິດຕົນອອກແບບຫ້ອງທີ່ມີພອດເຊັນເຊີທີ່ສາມາດເຂົ້າເຖິງໄດ້, ໂປໂຕຄອນການປັບຕົວຢູ່ໃນສະຖານທີ່, ແລະງົບປະມານທີ່ບໍ່ແນ່ນອນທີ່ໂປ່ງໃສ. ສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາອີເລັກໂທຣນິກ - ບ່ອນທີ່ທຸກວົງຈອນການມີຄຸນວຸດທິມີຜົນສະທ້ອນທາງດ້ານການເງິນແລະຄວາມປອດໄພ - ທາງເລືອກຂອງຫ້ອງທົດສອບສິ່ງແວດລ້ອມມີອິດທິພົນຕໍ່ຊື່ສຽງຂອງຍີ່ຫໍ້ຫຼາຍປີ.
ບໍລິສັດ ບໍລິສັດ Symor Instrument Equipment Co., Ltdມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນເທກໂນໂລຍີການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແລະຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ສະເຫນີຫ້ອງທົດລອງສະພາບອາກາດແລະຕູ້ແຫ້ງທີ່ເຫມາະສົມກັບການຜະລິດເອເລັກໂຕຣນິກແລະ semiconductor. ພາຍໃຕ້ຍີ່ຫໍ້ Climatest Symor®, ແຕ່ລະຫ້ອງແມ່ນຜ່ານການປັບທຽບໂຮງງານຢ່າງພິຖີພິຖັນ, ຜ່ານການຢັ້ງຢືນມາດຕະຖານອ້າງອີງທີ່ຈຳລອງການດຳເນີນງານເຕັມປີ. ທີມງານວິສະວະກໍາຈັດລໍາດັບຄວາມສໍາຄັນຂອງຄວາມຫມັ້ນຄົງມິຕິລະດັບຂອງປະລິມານການເຮັດວຽກ, ຫຼຸດຜ່ອນການຮົ່ວໄຫຼຂອງຄວາມຮ້ອນແລະການເຄື່ອນຍ້າຍ vapor. ສຳລັບຫ້ອງທົດລອງທີ່ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຜົນໄດ້ຮັບທີ່ສອດຄ້ອງກັນທົ່ວຫຼາຍບ່ອນ, ຫ້ອງຂອງ Symor ສົ່ງຂໍ້ມູນທີ່ສາມາດໂອນໄດ້—ບໍ່ມີຄວາມແປກໃຈໃນການປັບປຸງຄືນໃຫມ່, ບໍ່ມີຄວາມແຕກຕ່າງ batch ທີ່ບໍ່ໄດ້ອະທິບາຍ.
ບໍລິສັດຮັບຮູ້ຢ່າງເຕັມສ່ວນວ່າສໍາລັບຫ້ອງທົດລອງທີ່ໄດ້ຮັບການຮັບຮອງແລະຜູ້ຜະລິດ Fortune 500, ຜົນການທົດສອບເປັນຕົວແທນຂອງສັນຍາຜູກມັດ. ການບ່ຽງເບນຂອງເສດສ່ວນ—ເກືອບວ່າສາມາດກວດພົບໄດ້ຢູ່ໃນໜ້າຈໍຄວບຄຸມ—ສາມາດກຳນົດໄດ້ວ່າຜະລິດຕະພັນໃດນຶ່ງຍ້າຍໄປສູ່ການຜະລິດປະລິມານ ຫຼືກັບຄືນໄປອອກແບບໃໝ່. ດັ່ງນັ້ນ, Symor calibrates ທຸກໆຫ້ອງສະພາບອາກາດແລະຕູ້ເກັບມ້ຽນແຫ້ງຢ່າງລະມັດລະວັງກ່ອນທີ່ຈະອອກຈາກໂຮງງານ, ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າຫຼັງຈາກການນໍາໃຊ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ຂໍ້ມູນຂອງມັນຍັງຄົງເປັນທີ່ຊັດເຈນຄືກັບໃນມື້ຫນຶ່ງ. ຄໍາຫມັ້ນສັນຍານີ້ຂະຫຍາຍໄປສູ່ສາຍຕູ້ແຫ້ງ NetDry®, ສະຫນອງການເກັບຮັກສາຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຕ່ໍາສຸດທີ່ເສີມສ້າງຂະບວນການວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ. ໂດຍການລວມເອົາການກະຈາຍອາກາດທີ່ແຂງແຮງ, ເຊັນເຊີທີ່ທົນທານຕໍ່ການລອຍ, ແລະການຕິດຕາມທີ່ບັນທຶກໄວ້, Symor Instrument Equipment Co., Ltd ຊ່ວຍໃຫ້ລູກຄ້າປັບປຸງຄຸນນະພາບການຜະລິດໂດຍບໍ່ມີຄວາມບໍ່ແນ່ນອນທາງດ້ານວັດແທກ.
ວິສະວະກໍາຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືບໍ່ທົນທານຕໍ່ "ໃກ້ຊິດພຽງພໍ". ເສັ້ນທາງຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor - lithographies ລະອຽດ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງພະລັງງານທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແລະການຂະຫຍາຍອາຍຸການດໍາເນີນການ - ຕ້ອງການ.ຫ້ອງທົດສອບສິ່ງແວດລ້ອມທີ່ປະຕິບັດຕົວເປັນມາດຕະຖານການວັດແທກ, ບໍ່ແມ່ນຕົວແປ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການທົດສອບຊີວິດແບບເລັ່ງ, ຮອບວຽນອຸນຫະພູມ, ຫຼືຄວາມຊຸ່ມຊື້ນຄົງທີ່, ຫຼັກການພື້ນຖານຍັງຄົງຢູ່: ຜົນການທົດສອບສາມາດປະຕິບັດໄດ້ພຽງແຕ່ເມື່ອຄວາມບໍ່ແນ່ນອນຂອງຫ້ອງໄດ້ຖືກຮັບຮູ້ແລະຄວບຄຸມ. ຜູ້ຜະລິດທີ່ຝັງແນວຄິດການປັບທຽບຈາກການອອກແບບໄປຈົນເຖິງການທົດສອບການຍອມຮັບຂອງໂຮງງານໃນທີ່ສຸດກໍ່ສ້າງຄວາມເຂັ້ມແຂງໃຫ້ວິສະວະກອນໄວ້ວາງໃຈຂໍ້ມູນຂອງເຂົາເຈົ້າ, ເລັ່ງການປະດິດສ້າງໃນຂະນະທີ່ປົກປ້ອງຄວາມປອດໄພຂອງຜູ້ໃຊ້ສຸດທ້າຍ.
